Productos químicos electrónicos Ácido fluorhídrico G4 (químico húmedo semiconductor)

Productos químicos electrónicos Ácido fluorhídrico G4 (químico húmedo semiconductor)

Revisión del documento: 01
Fecha de emisión: 2026-09-02
Estándar aplicable: Grado SEMI G4 (semiconductor ultra-químico húmedo de alta pureza)

Identificación del producto

 

Artículo

Especificación

Nombre del producto

Ácido fluorhídrico G4 (HF)

Categoría de producto

Químico húmedo electrónico semiconductor

Nombre químico

Ácido fluorhídrico

Fórmula química

frecuencia cardíaca

No. CAS

7664-39-3

Peso molecular

20.01

Número ONU

1790

Calificación

SEMI G4 Ultra-Grado electrónico de alta pureza

 

Descripción general del producto

 

El ácido fluorhídrico G4 es un ácido inorgánico a base de flúor-de alta pureza-refinado exclusivamente para la fabricación de obleas semiconductoras avanzadas y la fabricación de microelectrónica. Al adoptar una purificación ultra-de múltiples etapas, una filtración-libre de corrosión y una tecnología de llenado de sala limpia-clase 1000, el producto presenta un contenido de trazas de metales, impurezas aniónicas y micropartículas ultra-bajos y cumple totalmente con los estrictos estándares internacionales SEMI G4.

 

Como producto químico húmedo de limpieza y grabado selectivo central en procesos de interfaz de semiconductores, exhibe una excelente selectividad de grabado para capas de óxido de silicio y al mismo tiempo causa un daño mínimo a los sustratos de silicio y las películas de nitruro. El estricto control de impurezas evita eficazmente la micro-contaminación y los defectos de las obleas, lo que garantiza un alto rendimiento y una estabilidad-a largo plazo para los procesos avanzados de fabricación de chips.

 

Apariencia:Líquido volátil incoloro, claro y transparente.

 

Especificaciones Técnicas (Estándar SEMI G4)

 

Artículo de prueba

Especificación

Ensayo de alta frecuencia

48,5 ~ 49,5% en peso

Apariencia

Líquido transparente incoloro y claro.

Color (APHA)

Menor o igual a 5

Densidad a 20 grados

1,15 ~ 1,18 g/cm³

Residuo de evaporación

Menor o igual a 30 ppb

Metales traza individuales (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr)

Menos o igual a 10 ppb cada uno

Ácido fluosilícico (H₂SiF₆)

Menor o igual a 10 ppm

Sulfato (SO₄²⁻)

Menor o igual a 30 ppb

Nitrato (NO₃⁻)

Menor o igual a 30 ppb

Cloruro (Cl⁻)

Menor o igual a 30 ppb

Partículas mayores o iguales a 0,2μm

Menor o igual a 100 unidades/mL

 

Nota:Todos los datos de prueba se basan en el COA (Certificado de análisis) específico del lote-.

 

Aplicaciones (proceso húmedo de semiconductores)

 

Eliminación de óxido nativo de oblea:Elimine selectivamente el óxido de silicio nativo y los contaminantes de óxido residual en las superficies de las obleas de silicio sin dañar el sustrato de silicio, optimizando la condición de la superficie para los procesos de deposición, litografía y grabado.

Grabado selectivo de precisión:Se utiliza para el grabado fino de capas dieléctricas de SiO₂, capas de óxido de compuerta y capas de película delgada en la fabricación de circuitos integrados, y presenta una alta uniformidad de grabado y una excelente controlabilidad del proceso para garantizar una transferencia precisa del patrón.

Proceso de limpieza húmeda RCA:Sirve como componente clave de las soluciones de limpieza RCA modificadas para eliminar micro-partículas, impurezas iónicas y residuos orgánicos en las superficies de las obleas, mejorando la limpieza general de las obleas.

Proceso avanzado de embalaje y MEMS:Se aplica para el tratamiento de superficies, micro-grabado y eliminación de impurezas de dispositivos MEMS, sensores semiconductores y componentes avanzados de empaquetado de chips, adaptándose a los requisitos de fabricación microelectrónica de alta-precisión.

 

Estándar de embalaje y llenado

 

Tipo de embalaje:Tambor sellado de HDPE-resistente a la corrosión-revestido/limpio-de HDPE, embalaje exclusivo para productos químicos HF

Especificación común:Tambor pequeño de 25 kg/30 kg, contenedor IBC resistente a la corrosión-de 1000 kg

Ambiente de llenado:Sala limpia clase 1000, sistema de producción y llenado totalmente libre de corrosión-y cero contaminación secundaria

Estándar de sellado:Estructura sellada especial anti-volátil y anti-fugas, evita estrictamente la pérdida de volátiles y la contaminación externa.

 

Almacenamiento y vida útil

 

● Almacenar en un almacén de productos químicos con flúor, fresco, seco y ventilado, mantenerlo herméticamente cerrado, lejos de la luz solar directa, altas temperaturas y fuentes de calor.

● Aísle estrictamente de productos de vidrio, sustancias alcalinas, oxidantes y materiales metálicos para evitar la corrosión química y reacciones no válidas.

● Prohibir el almacenamiento abierto-a largo plazo para evitar el deterioro volátil y la contaminación por absorción de humedad.

● Vida útil:12 meses en condiciones estándar de almacenamiento sellado

 

Manejo y precauciones de seguridad

 

● El ácido fluorhídrico es altamente corrosivo y volátil. Los operadores deben usar EPP de soporte profesional: guantes resistentes al fluoruro-, gafas químicas completamente cerradas, delantal resistente a la corrosión-y ropa protectora.

● Todas las operaciones deben realizarse en campanas extractoras profesionales; Evite la inhalación de gases volátiles y el contacto directo con la piel, ojos y mucosas.

● Durante la dilución y dosificación, agregue lentamente ácido al agua desionizada; Nunca agregue agua al ácido fluorhídrico concentrado para evitar salpicaduras y accidentes de seguridad.

● Se deben adoptar inmediatamente medidas especiales-de primeros auxilios en caso de contacto accidental o fuga, y seguir estrictamente las pautas de eliminación de emergencia de SDS.

● Para conocer la clasificación completa de peligros, las normas de transporte y los procedimientos de primeros{0}}auxilios, consulte el documento SDS oficial.

 

Seguro de calidad

 

Cada lote de ácido fluorhídrico G4 se produce, purifica e inspecciona estrictamente de acuerdo con los estándares internacionales de semiconductores SEMI G4. Cada envío va acompañado de un COA oficial-específico del lote. Todo el proceso de producción y llenado adopta un estricto control de contaminación en salas limpias-y una gestión de procesos resistentes a la corrosión-, lo que garantiza una pureza ultra-alta y una calidad estable para cumplir con los estrictos requisitos de los procesos avanzados de fabricación húmeda de semiconductores.

 

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